罗茨真空泵是一种容积式真空泵，具有启动快，耗功少，运转维护费用低，抽速大、效率高的性能特点，在石油、化工、塑料、农药、汽轮机转子动平衡、航空航天空间模拟等装置上得以应用，此泵不可以单独抽气，前级需配油封、水环等可直排大气。它的结构和工作原理与罗茨鼓风机相似，工作时其吸气口与被抽真空容器或真空系统主抽泵相接。并且因其使用特点常被串联在扩散泵与油封式机械真空泵之间，用来提高中间压力范围的抽气量。

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